一、產品簡介

SG-9500XM硅片檢查顯微鏡主要用于太陽能電池硅片的觀察。太陽能檢測顯微鏡能生產高清晰的圖像,立體感較強，成像較清晰視野寬闊，配置有長工作距離物鏡，并具有較大的視場范圍和相應的放大倍數, 配有高像素的工業相機,可以清晰的看到硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析，是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡。單晶硅檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的大陽能晶體硅片檢測、位錯、劃痕、崩邊等；還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析。雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等，會使磨片后的硅片易于發生變花、發藍、發黑等現象，使磨片不合格。顯微檢測幾乎是太陽能電池硅片生產過程中必不可少的檢測儀器之一。

二、產品特點

1.采用柯拉照明系統，配置優良的長工作距平場消色差物鏡與大視野物鏡，可提供卓越的光學性能；

2.產品主體采用“T”型防振結構設計使儀器更加穩固，適用于大試樣的顯微觀察 ；

3.采用12V30W鹵素燈照明（亮度可調），不僅能明視場觀察，還能對偏光觀察提供清晰鮮明的顯微觀察象；

4.產品造型美觀，操作方便，是金屬學、精密工程學、電子學等研究的理想儀器。

三、技術規格

1.光學系統：采用無限遠效正光學系統。

2.目鏡筒:三目鉸鏈式，30 ?傾斜,瞳距55-75mm，可100%通光攝影。

3.平場目鏡:帶膠眼罩WF10X/22目鏡，屈光度±5°可調

4.無限遠長距平場物鏡

放大倍數	數值孔徑	工作距離（mm）
PL L5X	0.10	29.4
PL L10X	0.25	16.0
PL L20X	0.40	10.6
PL L50X	0.55	5.1

5.轉換器:四孔(內向式滾珠內定位)

6.調焦機構:粗微動同軸調焦,帶鎖緊和限位裝置,微調0.0002mm

7.載物臺,尺寸:180mm×150mm ,移動范圍:橫向(×)75mm,縱向(Y)50mm,帶玻璃平臺。

8.聚光鏡:采用燕尾導軌齒輪齒條傳動升降，NA.1.25 阿貝聚光鏡帶可變光欄和濾色片

9.照明系統:落射科勒照明，帶孔徑可變光欄和視場可變光欄，透射照明12V30W.AC85V230V亮度可調

10.偏光裝置：檢偏鏡可360度轉動，起偏鏡檢偏鏡均可移出光路

11.濾色片:磨砂玻璃、藍色濾色片、黃色濾色片、綠色濾色片

12.適配鏡：直徑：59mm,放大倍率：0.5倍 ，內調焦距：0～3mm 調焦后可鎖緊

13.顯微鏡工業相機：圖像傳感器 1/2.5" 彩色500萬CMOS；像素點尺寸：2.2μmx2.2m；分辨率：2592 x 1944；幀率：5fps全分辨率；靈敏度：1.4V/lux- sec(550nm)；自動曝光控制: 8μs-375ms；信噪比: 44dB；掃描方式:逐行掃描；快門:電子快門；數據接口:USB2.0, 480Mb/s；白平衡:一鍵白平衡。

14.軟件功能：圖像顯示、圖像拍攝、錄像和圖象處理功能，可以對所攝圖像進行文字

15.編輯，比例尺顯示；超景深擴展；長度，角度，弧長測量；點，線，平行線，垂直測量；圓、橢圓測量；矩形，不規則形狀的周長、面積、重心位置等幾何參數量。

四、配置清單

1.檢查顯微鏡  一臺

2.WF10×高眼點平場目鏡 一對

3.長距平場消色差物鏡:5×、10×、20×、50× 一只

4.鹵素燈12V/30W 二只

5.濾色片（黃、藍、綠、磨砂玻璃） 一組

6.專用適配鏡  一只

7.YH-5001像素工業相機 一只

8.校準尺0.01mm  一片

9.偏光裝置 一套

10.產品說明書，合格證及保修卡  一份